美国死守光刻机,一台都不卖中国! 结果不到两年,中国自己造出了“刻刀”。
2023年,美国一纸禁令让ASML的EUV光刻机死死卡在海关,整机包装都没拆,硬是守住不让进中国。
这种设备一台要1.5亿美元,说封就封。 当时多少人都觉得,这下中国芯片距离最牛工艺彻底没戏了。
可谁又能想到,才过了两年,中国出了三样玩意儿,把全世界都看呆了。 中科院上海光机所、浙大、科大一波轮番发布自研的电子束“刻刀”、EUV新光源和纳米压印新设备。
经济学家李稻葵直接放话:“等我们搞出来了,你想卖我也不要了”。 这句话后面,没有一句气话,全是货真价实的科研成果撑着。
那一刀切的背后是什么? 不是大家觉得美国大气,而是人家打得精准,专门挑最关键的光刻设备,不单是物理设备,还把关键零部件、控制软件、光源技术通通锁死。
ASML那批订单都得在仓库吃灰。 应用材料公司账面上都能看出来,中国市场营收份额从40%掉到了30%。 表面说是审批不通,心里门儿清,被自己政策割了一刀。
有人可能在茶馆里摇头叹气,“咱这光刻机不是被外国人掐死了吗? ”其实老早中国就知道悬着一口气没用得上,美国拉闸之后,进口通道都断了,
外头买不到,剩下就得靠自家实验室顶上去。 全中国科研大军一声不吭,把买货那条路掐了,干脆换条道走,真刀真枪从头造。
2025年初李稻葵都发话了,“五六年能做出来? 我们用不到两年就干出了点结果。 ”真有点恍如在逛菜市场,“你小子不卖我西红柿,我自己开个地种,明天端上餐桌。
2025年8月,实打实出了第一台能用的国产商业电子束光刻机,名叫羲之,就在杭州余杭。
设备长得没啥花头,大铁柜子上电子屏幕闪来闪去,但这可不是摆样子的硬件。 它已经能在硅片上画8纳米的微线,0.6纳米的精度,什么掩膜一类的麻烦活全免了。
你要是觉得这东西听起来“离我远”,可以想象成量子芯片和新材料研发专用的“手工刻电路工具”,国外专门把这种“高风险设备”列进出口管制清单,咱们一手打破了这套局。
羲之这活不是一个学校闷头做成的,浙大和科大两路人马,省重点实验室和省基金全投进去了,科研老炮带着团队一路熬出来。
说句心里话,这种自己“独辟新路”的气势,在别的领域都算稀罕。 设备路线没走“模仿ASML”的死路,而是“量身定做”,灵活、小批量适合前期研发。
效率不算高,但你别总想拿大批量拼产能,人家单点进步已经摆出来了。
翻页到2025年春天,上海光机所出的EUV固体激光光源也迎头赶上。 人家老美的Cymer公司,原来用CO激光独占40多年,贵得让人喊疼,一下订单能等一年。
林楠带着他的队伍,改用1微米固体激光配套,CE转化率干到了3.42%,已经快追上一半国际水准。 最重要的是,这核心设备不用问“能不能进口”,全手工自造。
有一说一,这两条技术线,一个主攻写“微线”、一个主攻生“激光”,全都捅破关键窗户纸。
你说这是不是心理安慰? 不是,这是真刀真枪的进步。 两类设备正面突破各自卡点,虽不能一夜把ASML彻底甩开,但中国芯片研发从此有了“入场券”。
应用材料公司营收虽创新高,可来自中国市场那份额直接“下坡”:30%现在已经快到谷底了。
新华社评论写得直白,美方原本自信心爆棚,非市场手段拉了一把稻草,结果反而把自己国际客户架空了。
现在,国内企业并没掉队,8月璞璘科技交付国产喷墨步进式纳米压印机,10纳米线宽搞定,软件和算法全套自家人原创。
先进封装和硅光研发里,已经有国产牌子当主角。 这类设备虽说还没到ASML那种量产级别,可咱不靠天吃饭,特色应用稳稳能跟上进度。
正像李稻葵说的,“以前买惯了外国货,就不想自己动手。 现在买不到了,全力研发反而真逼出了劲头。 ”没几天失落期,国产设备一批一批,研发和生产一起上,市场跟着变化。
再往后,ASML再想打开中国市场,恐怕等来的只有“没生意了”。
阿姆斯特丹那边消息灵通的人都琢磨明白了,哪个客户要变成自己掏腰包制造,卖家很快就成了“备胎”,市场不会惯着谁。 但被市场边缘化的味道,不用问谁心里都算得清。
美国本来想着抓住“芯片设备”这张底牌,就能让中国“永远坐冷板凳”。谁都没料到,短短两年,中国科研圈从“买家”变成“造货人”,
产业链变得拎得清,设备、光源、软件接口一步步补全。 设备不是口头上的独立,而是账本上一个个订单写出来的底气。
其实中国的技术本来就是“卡脖子”逼出来的。 有人感叹网络热评,“外国人卡你,不见得能让你下跪,反倒能让你更拼命。 ”
这道理浅显,但放芯片行业上,每一笔研发经费、每一台设备落地,谁也说不出半点“躺赢”。 咱就是怼着堵,咬着牙闯,最后硬生生拉出条路。
这几年我采访过的工程师、技术员、实验室老板,成天和工具、材料打交道。 他们私底下的聊天,有时候没啥豪言壮语,就是,“没办法,只能硬着头皮上。 ”
可你要真见到他们的成果,谁又能小瞧这些闷声不响的研发狂人?
中国的突破,从来不是靠嘴,而是靠一群没日没夜钻研的“技术汉子”,用一部部样机、一张张实验数据,在全世界面前立下脚。
中国芯片行业,真正升起一股底气,是在全球供应链高压之下,两年里硬生生拿出了一批“造不如造”的家伙。
未来咱和ASML谁能笑到未必只看谁先造出设备,更看谁能守住市场、持续出货。 设备技术再牛,也要有人用才行。
一旦客户成了自家老板,设备厂商才会知道什么叫“日落西山的失落”。 技术没法偷懒,市场更不会等待谁。